[发明专利]一种晶圆片玻璃浆填充装置有效
| 申请号： | 202210526863.7 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN114618754B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋红全;胡仲波;冯永;李健儿;周建余 | 申请（专利权）人： | 四川上特科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C9/14;B05C11/02;B05C13/02;H01L21/56 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 吴飞 |
| 地址： | 629201 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种晶圆片玻璃浆填充装置，包括：传送带以及沿传送带依次设置的上料机构、滴液机构、涂抹机构、烘干部、下料机构；上料机构和下料机构均包括两个承载组件，用于承载晶圆片，上料机构还包括第一推送组件，用于将晶圆片推送至传送带上，滴液机构用于向晶圆片表面滴落玻璃浆，涂抹机构用于将玻璃浆填充至晶圆片的沟槽中，烘干部用于烘干晶圆片表面的玻璃浆；下料机构还包括第二推送组件，用于将晶圆片推送至下料机构中。本方案在一个工作区域内自动实现晶圆片的上料和涂抹玻璃浆后的晶圆片的下料，同时在此过程中实现对晶圆片的滴注玻璃浆、涂抹填充和烘干，减少人工操作，减少材料的浪费，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 玻璃 填充 装置 | ||
【主权项】：
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