[发明专利]一种金刚石压砧过轴截面轮廓的精度计算方法

摘要

本发明公开一种金刚石压砧过轴截面轮廓的精度计算方法，该方法适用于具有复杂回转对称微结构的金刚石压砧，该方法首先利用显微镜获取压砧的三维点云数据，之后去除三维点云数据中的无效点云数据，接着求取有效点云的回转轴，并将有效点云变换到以回转轴为z轴的坐标系中，然后计算出过压砧回转轴任意截面的轮廓线，最后通过与最佳拟合轮廓线进行比对后，计算出压砧的轮廓精度。本发明公开的金刚石压砧过轴截面轮廓的精度计算方法相比传统人工检测方法，检测精度高，其精度检测可达到nm量级，且本方法也适用于其他具有回转微结构的金刚石压砧的轮廓精度检测。