[发明专利]分段多极杆聚焦轴线同轴度检测方法、同轴度检测装置在审
| 申请号： | 202210523441.4 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115077461A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 孙慈晶;张远清;尚雪松;吴杰;贾颖;曹祥宽;凌星;程文播 | 申请（专利权）人： | 天津国科医工科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/24 | 分类号： | G01B21/24 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 韩玲 |
| 地址： | 300300 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明提供分段多极杆聚焦轴线同轴度检测方法，包括：S1、获取多极杆结构的入口端的场圆中心A |
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| 搜索关键词： | 分段 多极 聚焦 轴线 同轴 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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