[发明专利]一种显影喷嘴在审
| 申请号： | 202210520589.2 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114832957A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 程虎;邓岗 | 申请（专利权）人： | 上海芯源微企业发展有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/36 | 分类号： | B05B1/36;B05B1/04;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区临*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了提供一种显影喷嘴，包括：喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，其顶部设有小孔，使显影液充满所述导流管后，从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出，降低了显影液喷淋的冲击力，有利于使从所述喷嘴主体开口处各个位置流出的显影液对基片的冲击力均匀，进而使得基片显影的反应程度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 喷嘴 | ||
【主权项】：
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