[发明专利]一种用于显示制程蚀刻废液的回收系统及方法在审
| 申请号： | 202210502816.9 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN114657376A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 邵振;陈飞荣 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C22B3/44 | 分类号： | C22B3/44;C23F1/46 |
| 代理公司： | 上海新泊利知识产权代理事务所(普通合伙) 31435 | 代理人： | 朱晓敏 |
| 地址： | 212212 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于显示制程蚀刻废液的回收系统及方法，包括依次连接的反应槽、螺旋回流槽，反应槽内含有蚀刻废液以及与蚀刻废液反应的阳离子无机添加剂，通过向反应槽中投入阳离子无机添加剂，得到絮凝物和絮凝后的蚀刻废液，然后根据蚀刻新液的配置要求，利用絮凝后的蚀刻废液配制蚀刻新液，配制的蚀刻新液提升了铜承载力，并可控制一定的反应速率，使得蚀刻液的生产满足生产的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显示 蚀刻 废液 回收 系统 方法 | ||
【主权项】：
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