[发明专利]一种单晶炉冷却组件及冷却装置在审

专利信息
申请号: 202210496479.7 申请日: 2022-05-09
公开(公告)号: CN114808111A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 周旺超;黄剑雄 申请(专利权)人: 无锡松瓷机电有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 代理人: 孙际德
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种单晶炉冷却组件及冷却装置,用于冷却单晶炉,单晶炉内设置有坩埚,坩埚与单晶炉的炉壁间设置有保温层,单晶炉的炉底设有与保温层上下相对的顶升孔,其中的单晶炉冷却组件包括顶升轴及顶升部,其中:顶升轴安装在顶升部的顶端,顶升部用于向上顶升顶升轴,使得顶升轴经顶升孔顶入至单晶炉内,并向上顶升保温层,以减少保温层覆盖坩埚的面积。通过顶升部和顶升轴的配合,本发明提供的单晶炉冷却组件能够经单晶炉的炉底顶升孔顶入至单晶炉内,从而向上顶升位于坩埚周侧的保温层,减少保温层覆盖坩埚的面积,从而加速坩埚的散热速度。
搜索关键词: 一种 单晶炉 冷却 组件 装置
【主权项】:
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