[发明专利]一种单晶炉冷却组件及冷却装置

权利要求书

1.一种单晶炉冷却组件，其特征在于，用于冷却单晶炉，所述单晶炉内设置有坩埚，所述坩埚与所述单晶炉的炉壁间设置有保温层，所述单晶炉的炉底设有与所述保温层上下相对的顶升孔，所述单晶炉冷却组件包括顶升轴及顶升，其中：

所述顶升轴安装在所述顶升部的顶端，所述顶升部用于向上顶升所述顶升轴，使得所述顶升轴经所述顶升孔顶入至所述单晶炉内，并向上顶升所述保温层，以减少所述保温层覆盖所述坩埚的面积。

2.如权利要求1所述的单晶炉冷却组件，其特征在于，所述单晶炉冷却组件还包括安装支架，所述安装支架包括顶板、底板及连接在所述顶板和所述底板之间的侧板，所述顶板、所述底板及所述侧板限定出至少有一侧敞开的安装腔，所述顶板上设置有第一通孔，所述底板上设置有第二通孔；

所述顶升轴设置在所述安装腔内，所述顶升轴的顶端经所述第一通孔穿出所述安装腔，所述顶升部设置在所述底板的下方，所述顶升部的顶端经所述第二通孔向上穿入至所述安装腔内。

3.如权利要求2所述的单晶炉冷却组件，其特征在于，所述顶升部的顶端设置有顶升块，所述顶升轴的下端安装在所述顶升块上，所述侧板上设置有沿竖直方向延伸的导轨，所述顶升块滑动连接在所述导轨上。

4.如权利要求3所述的单晶炉冷却组件，其特征在于：

所述顶升块上设置感应件；

所述侧板上上下间隔设置有与所述感应件配合的第一感应开关和第二感应开关，所述感应件位于所述第一感应开关和所述第二感应开关之间。

5.如权利要求2所述的单晶炉冷却组件，其特征在于，所述单晶炉冷却组件还包括套设在所述顶升轴上的波纹管，其中，所述波纹管的上端连接在所述顶板上并与所述顶升轴密封贴合，所述波纹管的下端密封固定在所述顶升轴上。

6.如权利要求5所述的单晶炉冷却组件，其特征在于：

所述波纹管的上端设有上连接法兰，所述上连接法兰固定安装在所述顶板上，所述上连接法兰上安装有与所述顶升轴密封贴合的第一密封圈；

所述波纹管的下端设有下连接法兰，所述下连接法兰固定安装在所述顶升轴上，所述下连接法兰上安装有与所述顶升轴密封贴合的第二密封圈。

7.如权利要求2所述的单晶炉冷却组件，其特征在于：

所述顶板上设置有用于连接所述单晶炉的炉底的连接结构；

所述顶板的上表面上设置有环绕所述第一通孔的第三密封圈，所述顶板经所述连接结构连接至所述单晶炉的炉底后，所述第三密封圈与所述单晶炉的炉底密封贴合。

8.如权利要求1所述的单晶炉冷却组件，其特征在于，所述顶升轴的顶端设置有轴套，所述轴套由耐高温材料制成。

9.如权利要求1所述的单晶炉冷却组件，其特征在于，所述顶升轴为冷却轴，所述冷却轴内形成有供冷却介质流动的流道，所述冷却轴上还设置与所述流道相通的冷却进口和冷却出口。

10.一种单晶炉冷却装置，其特征在于，用于冷却单晶炉，所述单晶炉内设置有坩埚，所述坩埚与所述单晶炉的炉壁间设置有保温层，所述单晶炉的炉底设有与所述保温层上下相对的顶升孔，所述单晶炉冷却装置设置在所述单晶炉的炉底下方，所述单晶炉冷却装置包括N个如权利要求1至9任一项所述的单晶炉冷却组件和顶升驱动装置，其中：

各所述单晶炉冷却组件的顶升部均与所述顶升驱动装置传动连接，所述顶升驱动装置用于同步驱动各所述单晶炉冷却组件的顶升部向上顶升对应的所述顶升轴，使得各所述顶升轴经对应的所述顶升孔同步顶入至所述单晶炉内，并向上顶升所述保温层，以减少所述保温层覆盖所述坩埚的面积。