[发明专利]真空膜压机的膜压方法和真空膜压机在审
| 申请号： | 202210491598.3 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114801149A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 孔跃春;韩佳伟;鲁艳春 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/02 | 分类号： | B29C63/02;B29C63/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种真空膜压机的膜压方法和真空膜压机，真空膜压机的膜压方法包括步骤：将未压膜的晶圆放置在下腔体的下载板上；在晶圆上方提供塑封膜；将下腔体与上腔体合腔并形成真空腔；对上腔体的上载板上的气囊进行充气，并对塑封膜进行加热；朝向气囊方向移动下载板，使得下载板挤压所述气囊；完成晶圆压膜。通过改变压膜的方式，来避免气囊充气所产生的压力过度导致晶圆破碎的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 膜压机 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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