[发明专利]含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂、制备及其光刻胶组合物有效
| 申请号： | 202210486980.5 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114933627B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 李彦霖;顾大公;夏力;马潇;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07J31/00 | 分类号： | C07J31/00;C07C381/12;C07D333/46;C07D333/54;C07D333/76;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂、制备方法及其光刻胶组合物。含氟类胆固醇阴离子光致产酸剂中的氟原子可作为氢键受体，提高光致产酸剂在光刻胶内的溶解性及更有效地减缓质子扩散，从而提高光刻胶分辨率和线宽粗糙度，且在大量使用时可有效提高整款光刻胶的接触角，避免小分子的光敏剂在镜头液体中析出而污染昂贵的光刻机镜头，更适用于浸没式光刻胶的使用环境；可利用氟原子作为氢质子受体的性质，通过氢键作用吸附质子，同时降低分子在烘烤过程的振动，进一步减慢酸的扩散速度；配合以此类胆固醇类化合物固有的大分子量、普遍具有多个极性基团的特点，可控制光刻胶曝光及烘烤后的光酸扩散距离，减小光刻胶显影后的边缘粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 含氟类 胆固醇 阴离子 光致产酸剂 制备 及其 光刻 组合 | ||
【主权项】：
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