[发明专利]一种总剂量效应对TSV结构材料性能变化的分析方法在审
| 申请号： | 202210484943.0 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114878921A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 张有鑫;薛玉雄;单光宝;刘洋;王新淦;曹荣幸;郑澍;李红霞;韩丹;曾祥华 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01R27/28 | 分类号： | G01R27/28;G01R27/26 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种总剂量效应对TSV结构材料性能变化的分析方法，首先制造三维互连TSV转接板，利用矢量网络分析仪测试出经不同剂量总剂量辐照下转接板的散射参数；其次利用HFSS软件拟合经不同辐照剂量下转接板的散射参数，提取在不同辐照剂量的条件下TSV结构中材料Si、SiO |
||
| 搜索关键词： | 一种 剂量 效应 tsv 结构 材料 性能 变化 分析 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州大学，未经扬州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210484943.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
