[发明专利]一种应用于热锻模具表面的氮化物硬质薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210476639.1 | 申请日： | 2022-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN114807850A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 朱晓东;张培汉;宋忠孝;孟瑜;李雁淮;钱旦;王永静 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 张娴 |
| 地址： | 710049 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于新材料技术领域，且公开了一种应用于热锻模具表面的氮化物硬质薄膜，该氮化物硬质薄膜Zr元素的原子百分比为5～55％，Cr元素的原子百分比为5～55％，N元素的原子百分比为35～51％。本发明所制备的氮化物硬质薄膜具有梯度结构，打底层Cr层能够有效提高硬质薄膜与热锻模具钢基体之间的结合强度，过渡层CrN能够起到减缓硬质薄膜与钢基体中硬度、弹性模量及热膨胀系数差异的作用，表层ZrCrN氮化物硬质薄膜为热锻模具在复杂工况下提供表面防护作用，采用ZrCr合金靶相比于采用纯Zr和纯Cr靶共沉积方式，更有利于工艺稳定并扩大元素调节范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 锻模 表面 氮化物 硬质 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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