[发明专利]一种声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 202210470547.2 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114726334B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 牟笑静;齐梦珂;陈建军;曹亮;程一民;李孟辉 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 赵玉乾 |
| 地址： | 400044 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及谐振器技术领域，具体为一种声波谐振器及其制造方法，其中方法包括：在压电层下表面上加工形成第一介电层；对第一介电层的表面进行抛光，通过抛光后的光滑表面和衬底层进行键合形成键合体；在压电层上表面上加工形成叉指换能器上电极结构；在上电极叉指换能器结构上沉积一层第二介电层；在加工第一介电层和第二介电层时，通过加工工艺控制第一介电层和第二介电层的杨氏模量大小。本方案过程简单，易于加工，制造的声波谐振器，能有效提高品质因子，且不影响主要声波模式的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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