[发明专利]一种高效节能真空装置及方法在审
| 申请号： | 202210470457.3 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114909270A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 荣易 | 申请（专利权）人： | 迈科微真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/02;F04B49/22 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 杨瑞玲 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效节能真空装置及方法，真空装置包括抽气部件、多位单通道阀门部件和若干容置部件，多位单通道阀门部件具有若干第一阀口和一个第二阀口，若干第一阀口能够分别与第二阀口连通，容置部件上设有第一气口和第二气口，第一气口和第二气口分别与容置部件内腔连通，第一气口与抽气部件的抽吸口连接，容置部件与第一阀口一一对应，容置部件的第二气口与对应第一阀口连通。本申请在待处理容器与抽气部件间设置若干容置部件，通过具有较低气压的容置部件依次与待处理容器连通来实现对待处理容器的快速脱气。且在下个容置部件与待处理容器连通平衡气压时，抽气部件可以继续对上个容置部件进行抽气，进而保证抽气部件连续运行，节省能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 节能 真空 装置 方法 | ||
【主权项】：
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