[发明专利]一种高效节能真空装置及方法

权利要求书

1.一种高效节能真空装置，其特征在于，其包括抽气部件(1)、多位单通道阀门部件(2)和若干个容置部件(3)，所述多位单通道阀门部件(2)具有若干个第一阀口(21)和一个第二阀口(22)，若干个所述第一阀口(21)能够分别与所述第二阀口(22)连通，所述容置部件(3)上设置有第一气口和第二气口，所述第一气口和所述第二气口分别与所述容置部件(3)的内腔连通，所述第一气口与所述抽气部件(1)的抽吸口连接，所述容置部件(3)与所述第一阀口(21)一一对应，所述容置部件(3)的第二气口与对应的所述第一阀口(21)连通。

2.根据权利要求1所述的高效节能真空装置，其特征在于，所述第一气口与所述抽吸口之间设置有第一阀门部件(4)。

3.根据权利要求2所述的高效节能真空装置，其特征在于，所述第二阀口(22)连接有若干个第二阀门部件(5)。

4.根据权利要求3所述的高效节能真空装置，其特征在于，其还包括控制部件，所述抽气部件(1)、所述多位单通道阀门部件(2)、所述第一阀门部件(4)和所述第二阀门部件(5)分别与所述控制部件连接，所述控制部件被配置的能够分别控制所述抽气部件(1)、所述多位单通道阀门部件(2)、所述第一阀门部件(4)或所述第二阀门部件(5)动作。

5.根据权利要求4所述的高效节能真空装置，其特征在于，其还包括检测装置(6)，所述检测装置(6)与所述控制部件连接，所述检测装置(6)被配置的能够检测所述容置部件(3)内的气压。

6.一种高效节能真空方法，其特征在于，其包括如下步骤：

设置若干个设定容积的容置部件(3)，将所述容置部件(3)的第一气口与抽气部件(1)的抽吸口连通，将若干个所述容置部件(3)的第二气口分别与多位单通道阀门部件(2)的若干个第一阀口(21)一一对应连通，将待处理容器(7)与所述多位单通道阀门部件(2)的第二阀口(22)连接；

通过所述抽气部件(1)对所有的所述容置部件(3)进行抽气，使所述容置部件(3)内的气压降为设定值；

若干个所述容置部件(3)中，设定数量的所述容置部件(3)为一组，每一组中设定数量的所述容置部件(3)依次与同一个待处理容器(7)之间连通，直至将待处理容器(7)的气压降至为所需值；

其中，每一组中，在后一个容置部件(3)与待处理容器(7)连通过程中，所述抽气部件(1)对前一个容置部件(3)进行抽气，直至前一个容置部件(3)内的气压降为设定值；

在待处理容器(7)为多个时，多个所述待处理容器(7)并联在所述多位单通道阀门部件(2)的第二阀口(22)上，在前一组容置部件(3)将前一个待处理容器(7)的气压降至所需值后，后一组容置部件(3)对后一个待处理容器(7)进行抽真空。

7.根据权利要求6所述的高效节能真空方法，其特征在于，所述第一气口与所述抽吸口之间通过第一阀门部件(4)连接，通过控制所述第一阀门部件(4)的打开或关闭来控制对应所述容置部件(3)与所述抽气部件(1)之间连通或断开。

8.根据权利要求7所述的高效节能真空方法，其特征在于，所述待处理容器(7)与所述第二阀口(22)之间通过第二阀门部件(5)连接，通过控制所述第二阀门部件(5)的打开或关闭来控制对应所述待处理容器(7)与所述第二阀口(22)之间连通或断开。

9.根据权利要求8所述的高效节能真空方法，其特征在于，通过控制所述多位单通道阀门部件(2)上同所需容置部件(3)对应的第一阀口(21)与所述第二阀口(22)连通，以及控制同所要处理的待处理容器(7)对应的第二阀门部件(5)打开，进而控制所需容置部件(3)与所要处理的待处理容器(7)之间连通。