[发明专利]一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置在审
| 申请号： | 202210470056.8 | 申请日： | 2022-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN114740693A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王治刚 | 申请（专利权）人： | 刚川机器人（东阳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322121 浙江省金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置，包含底座(1)，所述的底座(1)上设置有主反光碗(6)、侧反光环碗(7)和下反光碗(8)；其特征在于：所述下反光碗(8)由支撑机构(3)在侧反光环碗(7)上固定支撑，其下反光碗(8)，将等离子体发射的EUV(11)向下散射的EUV光反射到侧反光环碗(7)上再反射和主反光碗(6)的反射EUV光叠加会聚再同一个EUV中间焦点(4)上。本发明通过下反光碗(8)和侧反光环碗(7)结构的聚焦提高了EUV中间焦点(4)光功率30‑45%，大大节约了电能，使芯片制造更环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 euv 超高 聚光 效率 反光 组合 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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