[发明专利]一种贵金属修饰复合型气体传感器在审
| 申请号： | 202210463275.3 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114791445A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 刘黎明;惠裕充;贾强生;易子川;张小文;曾丽雅 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院;桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 文怡然 |
| 地址： | 528402 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体气体传感器领域，具体提供了一种贵金属修饰复合型气体传感器，包括基底层、电极层、金属氧化物半导体薄膜层、响应层，电极层包括一个正极和两个负极，金属氧化物半导体薄膜层包括第一金属氧化物半导体薄膜和两个第二金属氧化物半导体薄膜，响应层包括石墨烯薄膜和贵金属纳米颗粒。正极位于基底层中间位置，负极设置于基底层两侧，正极上方覆盖有第一金属氧化物半导体薄膜，两个负极上方覆盖有第二金属氧化物半导体薄膜。第一金属氧化物半导体薄膜上方固定设置有石墨烯薄膜，两个第二金属氧化物半导体薄膜上方均固定设置有贵金属纳米颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 贵金属 修饰 复合型 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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