[发明专利]一种柔性制作多焦点微透镜阵列结构的方法在审
| 申请号： | 202210458849.8 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114895389A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 黄胜洲;谢芳琳;孙家乐;蒋铖玮;王雷;李懿;武晨旭 | 申请（专利权）人： | 安徽工程大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 | 代理人： | 曹宏筠 |
| 地址： | 241000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学成像领域，具体是一种柔性制作多焦点微透镜阵列结构的方法，步骤如下：制作三种数字掩模版；在衬底上旋涂一层负性光刻胶，用一号掩模版进行第一次无掩模曝光，曝光显影得到初步的结构；在第一层光刻胶上旋涂第二层光刻胶，基于二号掩模版进行第二次曝光显影；在第二层光刻胶上选图第三层光刻胶，基于三号掩模版进行第三次曝光显影，得到具有三种不同厚度的多层微柱结构；对多层微柱结构进行热回流工艺处理，封装热回流后的球面微透镜得到多焦点微透镜阵列结构；本发明具有工艺操作简单、成本低等优点，能够满足大景深要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 制作 焦点 透镜 阵列 结构 方法 | ||
【主权项】：
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