[发明专利]一种晶圆片的固定载具在审
| 申请号： | 202210455068.3 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114864470A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 崔剑锋;陈盟;饶立刚;张洪华;陈博瑞 | 申请（专利权）人： | 苏州科韵激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 袁微微 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆片的固定载具，涉及半导体加工技术领域。该固定载具包括第一载台与第二载台。所述第一载台包括第一支撑台，所述第一支撑台凹设有弧形的支撑部，所述支撑部的弧度小于所述晶圆片的弧度，所述第一支撑台环绕所述支撑部间隔开设有若干个第一吸附孔；所述第二载台包括第二支撑台，所述第二支撑台的支撑面开设有若干个第二吸附孔。该晶圆片的固定载具能够同时固定两种翘曲程度不同的晶圆片，且不需要针对晶圆片的翘曲程度而校准对应的载台，从而大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 固定 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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