[发明专利]一种多规格基片刷洗装置有效
| 申请号： | 202210453230.8 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114682541B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 边晓东;蒋成刚;安稳鹏;付佳维;王峥 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 邵琛 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多规格基片刷洗装置，所述多规格基片刷洗装置包括：载板；移动机构，所述移动机构设置于所述载板；洗刷机构，所述洗刷机构通过所述移动机构可滑动设置于所述载板；以及基片承载盘，所述基片承载盘与所述洗刷机构配合以刷洗所述半导体基片。该多规格基片刷洗装置通过移动机构和洗刷机构与基片承载盘的配合，可以实现自动地对多规格、多种类的半导体基片进行清理的作业，提高了生产的效率，提升了清理半导体基片的通用性，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 规格 刷洗 装置 | ||
【主权项】：
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