[发明专利]一种减薄载台的清洗方法在审
| 申请号： | 202210446067.2 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114850113A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘姣龙;刘建伟;邓欢;蒋文斌;李苏峰;秦岩松 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减薄载台的清洗方法，S1、调配清洁液，取一个容器，将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混合，得到清洁液；S2、减薄载台开启真空吸附功能，将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台，直到减薄载台无法吸附为止，此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间；S3、开启吹气、吹水功能，通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥，水量与气量调整到最大值，连续净化一段时间。本发明解决了减薄载台长期加工过程中杂质沉积堵塞的问题，降低硅片Dimple率，提高产品良率。同时，本发明不用停线拆装减薄载台，直接在线清洗，大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减薄载台 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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