[发明专利]一种基于AFM划刻石墨烯的纳流控芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202210435273.3 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN114534815B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 崔冠东;马明 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人： | 韩艺珠 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于AFM划刻石墨烯的纳流控芯片及其制备方法，所述方法包括以下步骤：在硅片上刻蚀微流道与第一对准标记；在BF33玻璃上制作第二对准标记；清洗刻蚀微流道与第一对准标记后的硅片和制作第二对准标记后BF33玻璃；将石墨烯样品转移到清洗后的硅片和BF33玻璃指定位置上；通过AFM对所述硅片上的石墨烯加工石墨烯纳米通道；通过所述第一对准标记和所述第二对准标记，将加工石墨烯纳米通道后的硅片和放置石墨烯后的BF33玻璃进行阳极对准键合，得到纳流控芯片。该方法不仅加工精度高，操作简单，与传统技术兼容性高，可设计的空间大，而且制备得到的纳米通道具有较高的长径比，通道尺寸在纳米到几十纳米的范围内连续精确可控，密封性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 afm 石墨 纳流控 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210435273.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
