[发明专利]一种利用拉速改善径向晶棒RRG值的系统及其方法

摘要

本发明公开了一种利用拉速改善径向晶棒RRG值的系统及其方法，包括炉体以及设置在炉体的右侧的加料组件，所述加料组件包括加料罐和导料筒所述导料筒底部的右侧连通有导料管，且导料管的底端设于籽料腔的上方，所述导料筒的左端贯穿于炉体右侧的上部，本发明涉及硅晶棒加工技术领域。该利用拉速改善径向晶棒RRG值的系统及其方法，通过驱动电机带动转动轴转动，第一齿轮、第二齿轮和齿环之间啮合，挡料筒转动使传料口位于加料罐与导料筒的连通处，使得螺旋传送叶转动将挡料筒内部的硅晶籽料传输至导料筒并通过导料管导入至籽料腔，加料组件的设置保证了坩埚构件内部原料的充足，进而方便设备的连续加工，提到设备的生产效率。