[发明专利]一种金刚石-氧化铝复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210429348.7 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN114908319A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 宋惠;江南;褚伍波;易剑;李赫;西村一仁 | 申请（专利权）人： | 宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C16/27;C23C16/56 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315336 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石‑氧化铝复合薄膜制备方法，包括采用MPCVD方法在硅基底表面沉积金刚石涂层后，再进行退火得到金刚石/硅基底，将所述金刚石/硅基底放入氢氟酸溶液进行刻蚀得到初始自支撑金刚石薄膜，将所述初始自支撑金刚石薄膜进行抛光至表面粗糙度＜500nm，得到自支撑金刚石薄膜；采用磁控溅射方法，以氧化铝靶为溅射靶材，氩气为溅射气体，在所述自支撑金刚石薄膜表面沉积氧化铝得到金刚石‑氧化铝复合薄膜，其中，溅射功率为150–300W，沉积温度为400–800℃，沉积时间为10–30h。该方法简单、高效，且制备得到的金刚石‑氧化铝复合薄膜具有较高的抗击穿性能和较高的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 氧化铝 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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