[发明专利]具有氧化物条声学限制结构的横向激励薄膜体声学谐振器在审
| 申请号： | 202210423687.4 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN115276599A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 约翰·潘德利斯·库拉基斯;肖恩·麦克休;格雷格·戴尔;布莱恩特·加西亚;菲利普·伊利耶夫;朱利叶斯·科斯凯拉;帕特里克·特纳;尼尔·芬齐 | 申请（专利权）人： | 谐振公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H3/04 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 声学谐振器、滤波器和方法。声学谐振器包括衬底、压电板和隔膜，隔膜包括跨越衬底中的空腔的压电板的一部分。压电板正面上的叉指换能器(IDT)包括分别从第一和第二母线延伸的第一和第二组交错的叉指换能器(IDT)指状物。交错的IDT指状物位于隔膜上。交错的IDT指状物的重叠部分限定了声学谐振器的孔径。第一电介质条在孔的第一边缘与IDT指状物重叠并延伸到第一边缘和第一母线之间的第一间隙中。第二电介质条在孔的第二边缘与IDT指状物重叠并延伸到第二边缘和第二母线之间的第二间隙中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 氧化物 声学 限制 结构 横向 激励 薄膜 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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