[发明专利]离子质量分析器及离子注入装置在审
| 申请号： | 202210420502.4 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114899080A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 秦晓北;关天祺;贾久宇;张喻召;张丛 | 申请（专利权）人： | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/20 | 分类号： | H01J49/20;H01J49/06;H01J49/26;H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;曾利平 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种离子质量分析器及离子注入装置，离子质量分析器包括磁轭、设于磁轭内且呈上下对称分布的第一磁极和第二磁极、位于第一磁极与第二磁极之间且供混合离子束以一定路线通过的束线腔、缠绕在第一磁极上的第一线圈以及缠绕在第二磁极上的第二线圈；第一磁极和第二磁极均为扇形，第一磁极和第二磁极的入射面均为凹面，第一磁极和第二磁极的出射面均为凸面，且凹面的曲率为－0.8～－0.5，凸面的曲率为0.45～0.6；入射时混合离子束线与所述入射面法线之间的夹角为56.5°～60°，出射时偏转离子束线与所述出射面法线之间的夹角为－10.5°～－13°。本发明所述离子质量分析器的分辨率大于200。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 质量 分析器 注入 装置 | ||
【主权项】：
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