[发明专利]一种基于白光干涉测量的微沟槽特征分割方法及系统在审
| 申请号： | 202210406408.3 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN114693936A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 雷自力;刘晓军;赵丽 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;湖北爱默思智能检测装备有限公司 |
| 主分类号： | G06V10/26 | 分类号： | G06V10/26;G06V10/44 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 胡秋萍 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于白光干涉测量的微沟槽特征分割方法及系统，属于图像处理领域；通过对微沟槽三维图像中台阶、过渡区域、沟道以及噪声的特征进行分析发现，当采用高度和梯度两种属性进行描述时，各种特征内部均匀具有一致性，特征之间的差异比较大，并且特征之间的属性描述基本不交叉，本发明采用高度和梯度两个参数作为二维属性来描述各个特征，能够规避噪声所带来的影响，同时对台阶、过渡区域、沟道三种待提取特征的区别化描述能力也较强；另外，本发明采用表面特征的概率描述方法，基于最大信息熵原理实现对沟槽微结构特征的自动分割，获得用于评定的各种特征的高度矩阵；这个过程无需人工干涉，分割效率及准确性较高，确定性也较强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 白光 干涉 测量 沟槽 特征 分割 方法 系统 | ||
【主权项】：
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