[发明专利]一种基于交变电场辅助加工玻璃通孔的方法及蚀刻装置有效
| 申请号： | 202210404132.5 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN114605080B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈云;李彪;赖声宝;温官海;刘祚辉;陈新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 张晓婷;朱培祺 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及三维集成封装转接板制造技术领域，尤其涉及一种基于交变电场辅助加工玻璃通孔的方法及蚀刻装置。一种基于交变电场辅助加工玻璃通孔的方法，包括以下步骤：步骤S1、采用激光对玻璃晶圆的目标区域进行激光加工处理，预设蚀刻孔；步骤S2、对玻璃晶圆进行清洗处理；步骤S3、将蚀刻液加热至目标温度后，将玻璃晶圆放入蚀刻液中，使蚀刻液没过玻璃晶圆。所述基于交变电场辅助加工玻璃通孔的方法，加工得到的玻璃通孔表面光滑，玻璃通孔的垂直度高、精度高，玻璃通孔内部锥度小，加工效率高，具有高效、低成本的特点，解决了现有超声辅助蚀刻加工得到的玻璃通孔加工效果差的问题，以及存在噪声污染、加工成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 交变电场 辅助 加工 玻璃 方法 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210404132.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种粘结砂浆上料和抹灰设备及施工方法
- 下一篇：一种磁吸式微型顶尖
