[发明专利]一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺在审
| 申请号： | 202210398690.5 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114755135A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 王竹卿;刘童 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;G01N29/02;G01N29/036;C23C14/48;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/56 |
| 代理公司： | 武汉菲翔知识产权代理有限公司 42284 | 代理人： | 刘谷红 |
| 地址： | 610065 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺，涉及传感器技术领域，包括硅基板、硅栅极、硅悬臂梁、金属铝电极、压电传感器、气体分子与聚合物结构，所述硅基板的表面设置有硅栅极与硅悬臂梁，所述硅栅极与硅悬臂梁耦合，所述硅悬臂梁的末端设置有压电传感器，所述压电传感器的两侧分别设置有金属铝电极，该基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺，通过利用在谐振式传感器的硅栅极内嵌入式薄膜，通过薄膜吸收气体后产生内应力来影响悬臂梁的共振频率，提高了气体检测灵敏度和线性度，通过更换嵌入的薄膜材料，从而可以制备传感器阵列实现多种化学气体的高效响应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 嵌入式 薄膜 谐振 气体 传感器 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
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