[发明专利]工艺角的设置方法以及器件的设计方法在审
| 申请号： | 202210394953.5 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114742004A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 薛小帝;洪波 | 申请（专利权）人： | 海光信息技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/367 | 分类号： | G06F30/367 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云;刘晓冰 |
| 地址： | 300392 天津市华苑产业区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种工艺角的设置方法以及器件的设计方法。该工艺角的设置方法包括：确定晶圆的待测试区域；测量待测试区域中的多个待检测器件的特性数据，获取特性数据中至少部分的统计分布；根据特性数据以及统计分布获取对第一电路模拟程序模型的调整参数；以及根据调整参数对第一电路模拟程序模型进行调整，以获取待测试区域的第二电路模拟程序模型以及相应的工艺角。该第二电路模拟程序模型可以更准确的表征晶圆在特殊区域，例如边缘区域的器件特性，进而为集成电路设计提供便利。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 设置 方法 以及 器件 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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