[发明专利]基板搬送装置和臂的冷却方法

摘要

本公开涉及基板搬送装置和臂的冷却方法。一种基板搬送装置，用于搬送基板，基板搬送装置具备：搬送臂，其具有用于支承基板的基板支承部以及与所述基板支承部连结来用于使该基板支承部移动的臂；冷却机构，其将来自流体供给源的冷却流体分配地供给至所述臂的多个冷却对象区域的各冷却对象区域；测定部，其测定各个所述冷却对象区域的温度；以及控制部，其中，所述控制部针对每个所述冷却对象区域，基于所述冷却对象区域的由所述测定部测定出的温度相对于基准温度的变化量以及所述冷却对象区域的温度对所述基板支承部的移动精度产生的影响度来计算热指标，所述控制部基于所述热指标来决定所述冷却机构分配来自所述流体供给源的冷却流体的分配比。