[发明专利]一种回音壁微腔光纤湿度传感器在审
申请号: | 202210384984.2 | 申请日: | 2022-04-13 |
公开(公告)号: | CN114894745A | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 梁磊;刘美子;刘楠;孙浩;任凯利;石英了 | 申请(专利权)人: | 西安邮电大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G02B6/02;G02B6/255 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 李薇 |
地址: | 710061 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种回音壁微腔光纤湿度传感器,包括:封装体、熔锥光纤以及单模光纤;其中,单模光纤的一端被加工为回音壁微腔;回音壁微腔的外表面涂覆有湿敏材料;封装体用于对熔锥光纤的锥部以及回音壁微腔进行固定和封装;封装体上设有透气结构,以使待测湿度的气体接触湿敏材料;单模光纤垂直于熔锥光纤的锥部,且单模光纤具有回音壁微腔的一端靠近锥部;回音壁微腔和锥部之间的距离满足预设条件;预设条件为:当光在熔锥光纤中传输时,锥部的光耦合入回音壁微腔中会产生谐振。本发明提供的光纤湿度传感器对外界温度不敏感,具有较高的探测灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 回音壁 光纤 湿度 传感器 | ||
【主权项】:
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