[发明专利]氮化铝膜参数提取方法在审
| 申请号： | 202210384332.9 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN114964356A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王郴;马盛林;金玉丰 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种氮化铝膜参数提取方法，涉及材料参数提取技术领域，能够精确提取氮化铝膜的材料系数。根据本发明实施例中的氮化铝膜参数提取方法，包括：基于待测氮化铝膜制作参数提取组件；测量参数提取组件的阻抗谱，并根据阻抗谱计算得到参数提取组件中待测氮化铝膜的介电常数；测量参数提取组件的属性参量，并根据属性参量计算得出待测氮化铝膜的压电系数与弹性系数；将待测氮化铝膜的介电常数、压电系数与弹性系数进行整合，得到待测氮化铝膜的材料参数。在本发明实施例中的方法中，由于对氮化铝膜各类材料系数进行分开提取，从而能够减少积累误差，提高提取精度。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 参数 提取 方法 | ||
【主权项】：
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