[发明专利]一种可降低边缘效应并提升毛细性能的电沉积装置和方法在审

专利信息
申请号: 202210384269.9 申请日: 2022-04-13
公开(公告)号: CN114703534A 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 吕树申;曾慧;徐谋;罗佳利;莫冬传 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: C25D17/00 分类号: C25D17/00;C25D17/10;C25D5/48;C25D5/50;C25D5/34;C25D3/12;C25D3/38
代理公司: 广州市深研专利事务所(普通合伙) 44229 代理人: 姜若天
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种可降低边缘效应并提升毛细性能的电沉积装置和方法,该装置包括电解槽和阴极,阴极位于电解槽的底部;其特征在于:在阴极的正上方间隔设置有一块绝缘板,绝缘板上设置有一通孔,通孔的几何中心与绝缘板的几何中心相重合,且通孔的几何中心正对阴极表面需要电沉积区域的中心;当放置这样一个塑料绝缘板时,阴极边缘的部分电场线被绝缘板阻挡,从而减小了阴极边缘的电场线密度,降低了边缘效应,进而所得到的多孔表面结构的微观形貌均匀性提高,平均孔径增大,孔隙率升高,使其毛细性能也得到了提升,满足了实际应用的性能要求和形貌要求,为进一步强化沸腾传热奠定了基础,也为实现大功率电子器件的高效散热提供了较好的解决方案。
搜索关键词: 一种 降低 边缘 效应 提升 性能 沉积 装置 方法
【主权项】:
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