[发明专利]基于纳米压印的马赛克快照式微滤光片阵列及制备方法在审
| 申请号： | 202210380903.1 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114740689A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 方靖岳;谢文科 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G02B5/28;G03B11/00 |
| 代理公司： | 湖南企企卫知识产权代理有限公司 43257 | 代理人： | 任合明 |
| 地址： | 410083 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学薄膜制备、半导体工艺、多光谱成像领域，特别涉及一种基于纳米压印的马赛克快照式微滤光片阵列及制备方法，所述方法是采用法布里‑珀罗周期性干涉滤光膜系结构，利用纳米压印技术，通过刻蚀或者紫外辐照固化等手段，完成微滤光单元的法布里‑珀罗腔厚度的调控，从而便捷地制备出马赛克快照式微滤光片阵列。所述方法，可以是在衬底上制备微滤光片阵列时采用，也可以是直接在图像传感器芯片上制备微滤光片阵列时采用。本发明不受滤波通道数目限制，并行地一次性完成所有工作波长膜系的法布里‑珀罗腔厚度调节，工艺简单，易于批量化生产，有利于多光谱检测技术的推广和普及，具有很大的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 压印 马赛克 快照 式微 滤光 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
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