[发明专利]一种侧壁集成纳米光学天线及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210378535.7 申请日: 2022-04-08
公开(公告)号: CN116931139A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 宿智娟;臧法珩 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 张东梅
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种侧壁集成纳米光学天线,包括基底;位于所述基底中的一个或多个微纳米孔;以及布置在所述微纳米孔的内壁的等离激元。本发明还涉及一种侧壁集成纳米光学天线的制备方法,包括:提供基底,并在基底上布置胶材;在胶材上形成微纳米孔图形;在基底上形成微纳米孔;在微纳米孔的内壁形成等离激元;以及去除胶材和胶材表面的沉积物薄膜。通过该纳米光学或方法,在微纳米孔的内壁形成等离激元,该侧壁集成纳米光学天线具有三维纳米光学天线的结构特征以及与二维纳米光学天线相比拟的尖端效应,能够造成强的光学谐振效应,品质因数值较高,使局部场增强效应更强。
搜索关键词: 一种 侧壁 集成 纳米 光学 天线 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学,未经上海交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210378535.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top