[发明专利]一种侧壁集成纳米光学天线及其制备方法在审
申请号: | 202210378535.7 | 申请日: | 2022-04-08 |
公开(公告)号: | CN116931139A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 宿智娟;臧法珩 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种侧壁集成纳米光学天线,包括基底;位于所述基底中的一个或多个微纳米孔;以及布置在所述微纳米孔的内壁的等离激元。本发明还涉及一种侧壁集成纳米光学天线的制备方法,包括:提供基底,并在基底上布置胶材;在胶材上形成微纳米孔图形;在基底上形成微纳米孔;在微纳米孔的内壁形成等离激元;以及去除胶材和胶材表面的沉积物薄膜。通过该纳米光学或方法,在微纳米孔的内壁形成等离激元,该侧壁集成纳米光学天线具有三维纳米光学天线的结构特征以及与二维纳米光学天线相比拟的尖端效应,能够造成强的光学谐振效应,品质因数值较高,使局部场增强效应更强。 | ||
搜索关键词: | 一种 侧壁 集成 纳米 光学 天线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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