[发明专利]一种确定晶圆键合过程中最佳键合力的理论方法在审
| 申请号： | 202210375605.3 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114840800A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 孙韵韵;姜嘉豪 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G06F17/10 | 分类号： | G06F17/10;B81C3/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 龚雅静 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种确定晶圆键合过程中最佳键合力的理论方法，包括：步骤S1、提供第一晶圆和第二晶圆，获取第一晶圆的初始曲率系数和第一晶圆的曲率半径；步骤S2、获取第一晶圆和第二晶圆自发键合后，第一晶圆的第一改变曲率系数和第一弹性应变能；步骤S3、获取对第一晶圆施加键合力后，第一晶圆的第二弹性应变能和第二改变曲率系数；步骤S4、获取第一晶圆和第二晶圆之间的接触面积；步骤S5、得到单位面积应变能，通过单位面积应变能获取最佳键合力关系式，进而得到第一晶圆和第二晶圆键合质量最优时的键合力，相比于现有的实验测试法和有限元仿真法，只需要进行纯计算就可以得到何时键合质量最优。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 确定 晶圆键合 过程 最佳 合力 理论 方法 | ||
【主权项】：
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