[发明专利]一种硅片烘干设备

摘要

本发明公开一种硅片烘干设备，包括底座，所述底座的顶端通过固定支撑柱安装有烘干箱，所述烘干箱的箱体内部填充有保温棉，所述烘干箱的内部安装有三个固定箱，所述烘干箱和三个所述固定箱的顶端均开设有入料口，三个所述固定箱的内部均安装有连接板；本发明的烘干效果更佳相较比传统的设备该装置可以通过真空泵使烘干箱内处于负压，当烘干箱内处于负压后，使水分中的沸点降低，这样的烘干效果更好，同时相较比传统的方式，该装置可以做到密封的同时又可以将水分进行去除，同时做到了热交换和热辐射并存，这样提高了装置的实用性和便利性，同时在不影响烘干效果的同时，减少了烘干时间，这样就提高了工作效率。