[发明专利]变形镜在审
| 申请号： | 202210352978.9 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN116931252A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李金潮;杨晋玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种变形镜，该变形镜包括：镜面，适用于反射照射到镜面上的光束；位移驱动模块，与镜面固定连接，适用于基于镜面的柔性驱动镜面在多个部位中的至少一个部位产生轴向方向的变形；以及偏转驱动模块，该偏转驱动模块包括：第一基座，位移驱动模块设置于第一基座上；以及多个偏转单元，安装在第一基座内，每个偏转单元适用于基于偏转单元在镜面的轴向方向的尺寸变化驱动位移驱动模块和镜面在镜面的轴向方向上发生偏转。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 | ||
【主权项】：
暂无信息
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