[发明专利]管内三维流速传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202210347964.8 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN114935668B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张一慧;金天棨;薛兆国;徐世威 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种管内三维流速传感器及其制造方法。该管内三维流速传感器包括：管状基底和有至少一个分支的传感器主体；各分支包括依次堆叠的支撑层、应变栅层和封装层，应变栅层包括应变栅和所连接的输入电极、输出电极；各分支包括连接部和所连接的第一、第二固定部，第一、第二固定部分别固定于管状基底的内壁的，且各连接部凸起；应变栅至少部分位于连接部，输入、输出电极位于第一固定部，输入、输出电极连接到检测模块；管状基底的外壁与目标管道内壁固定连接，以使得检测模块基于对应变栅的阻值检测结果确定出目标管道内液体的流速。制造简单、快速，且管内三维流速传感器简单通用、成型良好，集成度、精度与灵敏度高，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 流速 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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