[发明专利]一种控制蒸发源材料水分及杂质的方法及装置在审
| 申请号： | 202210342384.X | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114892139A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 年志刚 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/26;C23C14/28 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 张永生 |
| 地址： | 242000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制蒸发源材料水分及杂质的方法，包括以下步骤：第一检验：操作对象为质量管理部门，对蒸发源来料按照检验规范要求进行检验，对不合格产品进行退货；储存：当蒸发源来料符合检验规范后，对其进行特定环境下储存；装填：将待使用的蒸发源装入预热循环系统中的蒸发容器中，待对蒸发源进行预热循环；预热循环：对待使用的蒸发源进行加热排水分除杂质；第二检验：对热循环后的蒸发材料进行检验；上线安装：将预热循环后蒸发容器安装到腔室蒸发容器位置上；蒸发镀膜：在真空环境中对蒸发源进行蒸镀，形成薄膜产品；第三检验：在蒸镀过程中用对腔室内工艺条件进行检验。可有效减少蒸发源材料中的水分及杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 蒸发 材料 水分 杂质 方法 装置 | ||
【主权项】：
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