[发明专利]一种控制蒸发源材料水分及杂质的方法及装置

权利要求书

1.一种控制蒸发源材料水分及杂质的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

1)第一检验：操作对象为质量管理部门，对蒸发源来料按照检验规范要求进行检验，对不合格产品进行退货；

2)储存：当蒸发源来料符合检验规范后，对其进行特定环境下储存；

3)装填：将待使用的蒸发源装入预热循环系统中的蒸发容器中，待对蒸发源进行预热循环；

4)预热循环：对待使用的蒸发源进行加热排水分除杂质过程；

5)第二检验：对热循环后的蒸发材料进行检验，使用残余气体分析仪对蒸发源水分及其他挥发性杂质进行检验，判定预热循环效果是否佳；

6)上线安装：将预热循环后蒸发容器安装到腔室蒸发容器位置上；

7)蒸发镀膜：在真空环境中对蒸发源进行蒸镀，形成薄膜产品；

8)第三检验：在蒸镀过程中用对腔室内工艺条件进行检验，主要为蒸发源的水分及杂质。

2.如权利要求1所述控制蒸发源材料水分及杂质的方法，其特征在于：所述第一检验中，来料包装应为真空或充氮气封装，包装无破损及泄漏，材料表面无明显吸水迹象，表面无粉尘或其他颗粒，材料无裂痕或异常缺陷。

3.如权利要求1所述控制蒸发源材料水分及杂质的方法，其特征在于：所述储存的环境温度为25～50℃，湿度小于30％，洁净度十万级以上。

4.如权利要求1所述控制蒸发源材料水分及杂质的方法，其特征在于：所述预热循环中的蒸发容器和腔体蒸发容器相同，可互相替代使用；所述蒸发容器材料可根据所用蒸发材料来定，蒸发容器材料熔点高于蒸发材料即可，可以为不锈刚、石墨、粘土、石英或其他合金材料中的一种或多种。

5.如权利要求1所述控制蒸发源材料水分及杂质的方法，其特征在于：所述预热循环包括控制系统、真空系统、检测系统以及加热系统；预热循环系统对象为蒸发源，蒸发源摆放于蒸发容器中，预热循环后的蒸发容器包括设置于其内部的蒸发源，预热循环后蒸发源材料凝固于蒸发容器内。

6.如权利要求1所述控制蒸发源材料水分及杂质的方法，其特征在于：所述第三检验中，如不符要求且长时间无法达到标准，需对蒸发源进行更换。

7.一种控制蒸发源材料水分及杂质的装置，其特征在于：包括控制系统、真空系统、检测系统以及加热系统；所述真空系统为通过分子泵和腔室构成真空环境系统；所述检测系统为设在腔室上的真空计和温度传感器，所述加热系统为用于腔体内加热的加热器。

8.如权利要求7所述装置，其特征在于：所述加热器的加热方式可为电阻加热、电子束加热、激光加热、高频感应加热中的一种或多种；电阻加热的材料常使用钨、钼、钽等高熔点金属，蒸发材料可以是丝状、带状或板状；电子束加热利用电子轰击蒸发材料；激光加热利用高功率激光束进行加热，激光加热的激光器置于腔体上方与水平呈45～75°角度。

9.如权利要求7所述装置，其特征在于：所述腔体内设有支架，支架上设有用于存放蒸发源材料的坩埚，真空计和分子泵设在腔体的一侧，腔体的另一侧设有操作界面，腔体的顶部设有残余气体分析仪和红外测温仪以及真空密封窗，对应真空密封窗设有用于加热的激光。