[发明专利]一种硅基微针的制备方法在审
| 申请号： | 202210342214.1 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114849051A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 邹帅;苏晓东;黄洁 | 申请（专利权）人： | 相邦（苏州）生物材料科技有限公司 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 施恩 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基微针的制备方法，的制备方法包括如下步骤：S1、在单晶硅基底的所有表面沉积保护膜；S2、对上述硅基底一个面上的保护膜进行正交网格开槽；S3、碱液刻蚀，形成微针阵列结构；S4、去除保护膜并清洗干净。本发明具有如下有益效果：（1）制备流程简单，工艺成本低，适合大批量产业化生产；（2）孔洞位于微针的正中间位置，无偏差；（3）无任何加工损伤，针型好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅基微针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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