[发明专利]一种稳定光悬浮加速度传感器标度因数的方法和装置在审
申请号: | 202210337068.3 | 申请日: | 2022-04-06 |
公开(公告)号: | CN114720722A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 邝腾芳;熊威;韩翔;陈鑫麟;曾炜卿;肖光宗;罗晖 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | G01P21/00 | 分类号: | G01P21/00 |
代理公司: | 长沙正务联合知识产权代理事务所(普通合伙) 43252 | 代理人: | 郑隽;吴婷 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种稳定光悬浮加速度传感器标度因数的方法和装置,它属于光学工程领域和精密测量技术领域。本发明通过测量和分析微粒的位移信息获得微粒的谐振频率,采用高精度计时装置产生参考频率,通过所述谐振频率和参考频率的差值大小,反馈控制捕获激光功率,实现锁定微粒谐振频率,从而实现稳定加速度传感器的标度因数。相比于现有测量方法及装置,本发明具有方法简单、实用效果强等优点等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 稳定 悬浮 加速度 传感器 标度 因数 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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