[发明专利]一种用于晶圆保护膜的UV固化输送辊及其制备方法在审
| 申请号： | 202210335209.8 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114632681A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 李政;张强 | 申请（专利权）人： | 广东莱尔新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06;B65H20/02;C03B33/06;C03C17/22;C03C17/23;C03C17/00;C03C17/245;C03C17/25 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 罗凯欣;曹振 |
| 地址： | 528000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆保护膜的UV固化输送辊，UV固化输送辊安装于晶圆保护膜的涂布生产的收卷输送线，UV固化输送辊的外侧面与晶圆保护膜的一面接触，UV固化输送辊包括圆辊本体、紫外线光源、端盖板和转轴；圆辊本体为中空的圆柱形的玻璃体，圆辊本体的前后两端均安装有端盖板，两个转轴分别垂直地安装于两个端盖板的中心处，转轴的一端与端盖板的外露的板面相抵，紫外线光源安装于圆辊本体内，紫外线光源发出的紫外线光可促使晶圆保护膜的表面涂布有的胶粘层的粘合剂快速固化，从而可免去卷收后的晶圆保护膜需要再另外进行固化；本发明还提出了上述UV固化输送辊的制备方法，具有设备简单，工艺简洁，制造成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 保护膜 uv 固化 输送 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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