[发明专利]一种平面等角螺旋天线结构的太赫兹探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210332872.2 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114812803A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 涂学凑;陈鹏飞;贾小氢;康琳;陈健;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 封睿 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种平面等角螺旋天线结构的太赫兹探测器及其制备方法，其中二氧化硅支撑层生长在硅衬底上；六氮五铌薄膜热敏层生长在二氧化硅支撑层上，通过设计圆环刻蚀窗口对二氧化硅支撑层和硅衬底进行光刻、刻蚀，形成六氮五铌微桥悬空结构；平面等角螺旋天线兼做耦合天线和电极层，位于六氮五铌薄膜热敏层上，平面等角螺旋天线的中心馈电结构和六氮五铌微桥两端直接相连。本发明通过设计平面等角螺旋天线结构，以及刻蚀工艺采用圆环图案的设计，解决了常规六氮五铌太赫兹微测辐射热计探测带宽低、平面等角螺旋天线结构中悬空微桥结构制备难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 等角 螺旋 天线 结构 赫兹 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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