[发明专利]一种激光器的功率监测装置及监测方法有效

专利信息
申请号: 202210331146.9 申请日: 2022-03-31
公开(公告)号: CN114414216B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 陈乃奇;张向非 申请(专利权)人: 深圳市先地图像科技有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01J1/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518126 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种激光器的功率监测装置和监测方法,装置包括:激光光源、至少一块凸透镜、光阑、传感器和控制器;激光光源和光阑分别设置在凸透镜两侧的主光轴上,激光光源发出的若干激光光束经过凸透镜透射后,里边部分的激光光束穿过位于光阑中间的过光孔后汇聚于焦点,外围部分的激光光束被光阑的挡光部位遮挡。传感器读取外围部分的光斑半径为x的激光光束的光强IX,求得激光器衰减后的最大光强I0,控制器将I0和激光光源的初始未衰减时的最大光强I1进行比较,根据差值(I1‑I0)对激光光源进行补偿,以使得激光光源的最大光强一直维持为初始值I1。本装置及方法保证了激光器的激光功率一直稳定在初始值状态,提高了激光曝光质量。
搜索关键词: 一种 激光器 功率 监测 装置 方法
【主权项】:
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