[发明专利]一种硅片传输皮带自动清洁装置

摘要

一种硅片传输皮带自动清洁装置，其中，硅片传输组件包括尺寸模组和可在水平方向上往复运动的第一上料台；第一上料台上设置有第一传输皮带；第一清洁组件包括第一擦拭臂和第一擦拭海绵；第一擦拭臂的第一端通过固定支架连接在尺寸模组上，第一擦拭臂的第二端延伸至第一上料台下方，第一擦拭海绵设置在该第二端，当第一上料台在水平方向上往复运动时，第一擦拭海绵可贴合于第一传输皮带的皮带传输表面以擦拭。本发明中，第一擦拭海绵可借助第一上料台在水平方向上的往复运动对第一传输皮带进行点动滑移清洁，清洁过程在第一上料模组正常工作时进行，无须停机，且无须额外消耗人力和能源；同时还能减少清洁时间，降低皮带磨损的速度。