[发明专利]一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法

摘要

本发明公开了一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法，包括底座，所述底座上安装有两个对称设置的Y向导轨，两个Y向导轨上均滑动有Y向滑块，两个Y向滑块固接在X向导轨的两端，X向导轨上滑动有X向滑块，X向滑块的表面安装有水平补偿机构，水平补偿机构上固接有固定柱，此晶圆检测高精度气浮运动平台及方法，区别于现有技术，可将待检测晶圆夹紧，保持待检测晶圆在检测过程中的稳固性，可对载台的水平位置进行校准补偿，再利用气泵工作，气泵增加进入气浮腔内部的空气，使空气变多并顶动浮动台上移，从而对载台的高度位置进行校准补偿，可确保晶圆达到准确的检测高度，最后可对待检测晶圆进行全方位的检测。