[发明专利]一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法

权利要求书

1.一种晶圆检测高精度气浮运动平台，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上安装有两个对称设置的Y向导轨(2)，两个Y向导轨(2)上均滑动有Y向滑块(3)，两个Y向滑块(3)固接在X向导轨(4)的两端，X向导轨(4)上滑动有X向滑块(5)，X向滑块(5)的表面安装有水平补偿机构(6)，水平补偿机构(6)上固接有固定柱(7)，固定柱(7)的顶部活动连接有浮动台(8)，浮动台(8)的顶部固接有载台(9)，固定柱(7)内嵌设有高度补偿机构(10)，固定柱(7)的顶部与浮动台(8)的内侧之间形成有气浮腔(18)，固定柱(7)的外壁上通过安装座(11)固接有浮动式传动机构(12)，浮动式传动机构(12)与固接在浮动台(8)外壁上的齿圈(13)相啮合，载台(9)的底部固设有用于固定晶圆的固定机构(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测高精度气浮运动平台，其特征在于，所述水平补偿机构(6)包括固接在X向滑块(5)上的固定架(61)，固定架(61)的一侧安装有微动电机一(62)，微动电机一(62)的输出轴与螺杆(63)的一端固接，螺杆(63)的另一端螺旋传动连接在螺筒(64)内，螺筒(64)固接在移动架(65)的一侧壁上，移动架(65)滑动在固定架(61)内，移动架(65)的内壁上安装有微动电机二(66)，微动电机二(66)的输出轴与丝杠(67)的一端固接，丝杠(67)的另一端转动连接在移动架(65)内，丝杠(67)的外壁螺旋传动连接在活动台(68)内。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测高精度气浮运动平台，其特征在于，所述X向滑块(5)的侧壁上安装有Y向距离传感器(19)，底座(1)上正对Y向距离传感器(19)的一侧处固设有挡板(20)，固定架(61)的侧壁上安装有X向距离传感器(21)，Y向滑块(3)上正对X向距离传感器(21)的一侧处固设有挡块(22)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测高精度气浮运动平台，其特征在于，所述浮动台(8)的内壁上固接有固定环(15)，固定环(15)的内壁上固设有多个滚珠(16)，固定环(15)通过滚珠(16)滚动连接在固定柱(7)外壁上开设的浮动槽(17)内。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测高精度气浮运动平台，其特征在于，所述浮动式传动机构(12)包括安装在安装座(11)上的旋转电机(121)，旋转电机(121)的输出轴与固定轴(122)的底端固接，固定轴(122)内活动连接有浮动轴(123)，浮动轴(123)的外壁上固接有多个限位块(124)，多个限位块(124)分别滑动在固定轴(122)外壁上开设的多个限位孔内，浮动轴(123)通过轴承块(125)转动连接在浮动台(8)的外壁上，浮动轴(123)的顶端固接有齿轮(126)，齿轮(126)与齿圈(13)相啮合。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测高精度气浮运动平台，其特征在于，所述固定机构(14)包括转动安装在载台(9)底部的电动推杆(141)，电动推杆(141)的伸缩轴与转动环(143)的底部转动连接，转动环(143)转动连接在连接环(142)的底部，连接环(142)固接在载台(9)的底部，转动环(143)的外壁上设有凸起并通过多个连杆(144)与多个夹块(145)的底部相铰接，夹块(145)滑动在载台(9)上开设的移动孔内。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆检测高精度气浮运动平台，其特征在于，所述高度补偿机构(10)包括嵌设于固定柱(7)内部的气泵(101)，气泵(101)的出气端与内气管(102)的一端连接，内气管(102)的另一端延伸至气浮腔(18)内，气泵(101)的进气端与外气管(103)的一端连接，外气管(103)的另一端延伸至固定柱(7)外部。