[发明专利]高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法及装置在审
| 申请号： | 202210306610.9 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114577148A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 郑孝勇;蔡莹 | 申请（专利权）人： | 深圳市兴华炜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G02B7/28 |
| 代理公司： | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人： | 王海骏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区松*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，实现方法如下：记录多个光线发射器件发出光线在标准平面上形成的标准线段状投影位置以及多标准线段状投影的标准交点位置；保持检测镜头在距离测试平面一定高度位置，记录两个光线发射器件发出光线在检测平面上形成的检测线段状投影位置以及两检测线段状投影的检测交点位置，依据检测线段状投影位置和标准投影位置的差值调整检测镜头与测试平面的相对位置；以多个光线发射器件发出光线在检测镜头的视野范围内形成线段状投影位置差值以及线段投影交点位置差值为标准来调整检测镜头与测试平面的相对位置，从而达到快速区域对焦目的，能够快速高效的对平整度进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 镜头 测试 薄片 平整 实时 对焦 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市兴华炜科技有限公司，未经深圳市兴华炜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210306610.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
